Sekundara Revena Aero-skemo Por Klimatiza Sistemo

La mikroelektronika laborejo kun relative malgranda pura ĉambro kaj limigita radiuso de revena aerkanalo kutimis adopti la sekundaran revenan aerskemon de klimatizila sistemo. Ĉi tiu skemo ankaŭ estas ofte uzata enpuraj ĉambrojen aliaj industrioj kiel farmaciaĵoj kaj medicina prizorgo. Ĉar la ventola volumo por plenumi la postulojn de pura ĉambra temperaturo humideco estas ĝenerale multe malpli ol la ventola volumo necesa por atingi la pureco-nivelo, tial la temperaturdiferenco inter la provizo aero kaj la revena aero estas malgranda. Se la primara revenaera skemo estas uzata, la temperaturdiferenco inter la provizoaera statopunkto kaj la rosopunkto de la klimatizila unuo estas granda, necesas sekundara hejtado, kio rezultigas la malvarman varmegan kompenson en la procezo de aertraktado kaj pli da energikonsumo. . Se la sekundara revenaera skemo estas utiligita, la sekundara revenaero povas esti uzita por anstataŭigi la sekundaran hejtadon de la primara revenaera skemo. Kvankam la alĝustigo de la primara kaj sekundara revena aerproporcio estas iomete malpli sentema ol la alĝustigo de la sekundara varmo, la malĉefa revena aerskemo estis vaste rekonita kiel klimatizila energiŝpara mezuro en malgrandaj kaj mezgrandaj mikroelektronikaj puraj laborrenkontiĝoj. .

Prenu ISO-klason 6 mikroelektronikan puran laborejon kiel ekzemplon, la puran laborejon de 1 000 m2, la plafonan altecon de 3 m. La parametroj de interna dezajno estas temperaturo tn= (23±1) ℃, relativa humideco φn=50%±5%; La dezajna aerprovizokvanto estas 171 000 m3/h, ĉirkaŭ 57 h-1 aer-interŝanĝaj tempoj, kaj la freŝa aerkvanto estas 25 500 m3/h (el kiuj la proceza ellasila aerkvanto estas 21 000 m3/h, kaj la resto estas pozitiva prema elflua aervolumeno). La sentiva varmoŝarĝo en la pura laborejo estas 258 kW (258 W/m2), la varmo/humido-proporcio de la klimatizilo estas ε=35 000 kJ/kg, kaj la temperaturdiferenco de la revena aero de la ĉambro estas 4,5 ℃. En ĉi tiu tempo, la primara revena aero volumeno de
Ĉi tiu estas nuntempe la plej ofte uzata formo de puriga klimatizilo en la mikroelektronika industrio pura ĉambro, ĉi tiu tipo de sistemo povas esti ĉefe dividita en tri tipojn: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (Seka bobeno) +FFU. Ĉiu havas siajn avantaĝojn kaj malavantaĝojn kaj taŭgajn lokojn, la energiŝpara efiko plejparte dependas de la agado de la filtrilo kaj ventumilo kaj aliaj ekipaĵoj.

1) AHU+FFU-sistemo.

Ĉi tiu tipo de sistema reĝimo estas uzata en la mikroelektronika industrio kiel "la maniero apartigi klimatizilon kaj purigan fazon". Povas esti du situacioj: unu estas, ke la klimatizila sistemo nur traktas freŝan aeron, kaj la traktita freŝa aero portas la tutan varmegan kaj humidecan ŝarĝon de la pura ĉambro kaj funkcias kiel suplementa aero por ekvilibrigi la ellasan aeron kaj elfluon de pozitiva premo. de la pura ĉambro, ĉi tiu sistemo ankaŭ nomiĝas MAU+FFU-sistemo; La alia estas, ke la volumo de freŝa aero sole ne sufiĉas por kontentigi la bezonojn de malvarma kaj varmo-ŝarĝo de la pura ĉambro, aŭ ĉar la freŝa aero estas procesita de la subĉiela stato ĝis la specifa entalpia diferenco de la bezonata maŝino de rosopunkto estas tro granda. , kaj parto de la endoma aero (ekvivalenta al revena aero) estas resendita al la klimatizila traktadunuo, miksita kun la freŝa aero por varmo kaj humideca traktado, kaj tiam sendita al la aerprovizopleno. Miksite kun la restanta pura ĉambro revenaero (ekvivalenta al sekundara revenaero), ĝi eniras la FFU-unuon kaj tiam sendas ĝin en la puran ĉambron. De 1992 ĝis 1994, la dua aŭtoro de ĉi tiu artikolo kunlaboris kun singapura firmao kaj gvidis pli ol 10 diplomiĝajn studentojn partopreni en la dezajno de la usona-Honkonga komuna entrepreno SAE Elektronika Fabriko, kiu adoptis ĉi-lastan specon de puriga klimatizilo kaj sistemo de ventolado. La projekto havas ISO Class 5 puran ĉambron de ĉirkaŭ 6,000 m2 (1,500 m2 el kiuj estis kuntirita fare de la Japana Atmosfera Agentejo). La klimatizila ĉambro estas aranĝita paralela al la purĉambra flanko laŭ la ekstera muro, kaj nur apud la koridoro. La freŝa aero, ellasiga aero kaj revena aero tuboj estas mallongaj kaj glate aranĝitaj.

2) MAU+AHU+FFU-skemo.

Ĉi tiu solvo estas ofte trovita en mikroelektronikaj plantoj kun multoblaj temperaturoj kaj humidecaj postuloj kaj grandaj diferencoj en varmo kaj humideca ŝarĝo, kaj la pureca nivelo ankaŭ estas alta. Somere, la freŝa aero estas malvarmigita kaj malhumidigita al fiksa parametropunkto. Estas kutime konvene trakti la freŝan aeron al la intersekcpunkto de la izometria entalpia linio kaj la 95% relativa humideca linio de la pura ĉambro kun reprezenta temperaturo kaj humideco aŭ la pura ĉambro kun la plej granda freŝa aero volumeno. La aerkvanto de MAU estas determinita laŭ la bezonoj de ĉiu pura ĉambro por replenigi la aeron, kaj estas distribuita al la AHU de ĉiu pura ĉambro kun tuboj laŭ la bezonata freŝa aero volumeno, kaj estas miksita kun iom da endoma revena aero por varmego. kaj humideca traktado. Ĉi tiu unuo portas la tutan varmegan kaj humidecan ŝarĝon kaj parton de la nova reŭmatismo-ŝarĝo de la pura ĉambro, kiun ĝi servas. La aero traktita de ĉiu AHU estas sendita al la provizoaera pleno en ĉiu pura ĉambro, kaj post sekundara miksado kun la endoma revenaero, ĝi estas sendita en la ĉambron per la FFU-unuo.

La ĉefa avantaĝo de la solvo MAU + AHU + FFU estas, ke krom certigi purecon kaj pozitivan premon, ĝi ankaŭ certigas la malsamajn temperaturojn kaj relativan humidecon necesajn por la produktado de ĉiu pura ĉambro. Tamen, ofte pro la nombro de AHU starigita, okupi la ĉambron areo estas granda, la pura ĉambro freŝa aero, reveno aero, aero provizo duktoj interkruciĝas, okupas grandan spacon, la aranĝo estas pli ĝena, bontenado kaj administrado estas pli malfacila. kaj kompleksa, do, neniuj specialaj postuloj laŭeble eviti la uzon.